Chinas Durchbruch im Chip-Bereich: EUV-Patent als Schlüssel zur Unabhängigkeit?
Chinas Durchbruch im Chip-Bereich: EUV-Patent als Schlüssel zur Unabhängigkeit? Patent-Antrag: SMEE hat im März 2023 ein Patent für EUV-Lithografie-Technologie eingereicht, das im September.